Jakubowski, Andrzej ; Beck, Romuald B. ; Ćwil, Michał ; Głuszko, Grzegorz ; Konarski, Piotr ; Bieniek, Tomasz
Temat i słowa kluczowe:oxynitride ; dual gate oxide ; CMOS ; gate stack ; plasma implantation
Opis: Wydawca:Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa
Data wydania: Typ zasobu: Format: DOI: ISSN: eISSN: Źródło:Journal of Telecommunications and Information Technology
Język: Prawa: