Wyszukiwanie zaawansowane ?

Obiekt

Pobierz

Tytuł: Piezoresistive sensors for atomic force microscopy – numerical simulations by means of virtual wafer fab, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2001, nr 1

Autor:

Jakubowski, Andrzej ; Tomaszewski, Daniel ; Grabiec, Piotr ; Rangelow, Ivo W. ; Domański, Krzysztof ; Barth, Wolfgang ; Dębski, Tomasz

Data wydania:

2001, nr 1

Typ zasobu:

artykuł

Opis:

An important element in microelectronics is the comparison of the modelling and measurements results of the real semiconductor devices. Our paper describes the final results of numerical simulation of a micromechanical process sequence of the atomic force microscopy (AFM) sensors. They were obtained using the virtual wafer fab (VWF) software, which is used in the Institute of Electron Technology (IET). The technology mentioned above is used for fabrication of the AFM cantilevers, which has been designed for measurement and characterization of the surface roughness, the texturing, the grain size and the hardness. The simulation are very useful in manufacturing other microcantilever sensors.

Wydawca:

Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa

Format:

application/pdf

Identyfikator zasobu:

oai:bc.itl.waw.pl:684 ; ISSN 1509-4553, on-line: ISSN 1899-8852

DOI:

10.26636/jtit.2001.1.45

ISSN:

1509-4553

eISSN:

1899-8852

Źródło:

Journal of Telecommunications and Information Technology

Język:

ang

Prawa:

Biblioteka Naukowa Instytutu Łączności

Temat i słowa kluczowe:

technology characterization technology simulation atomic force microscopy piezoresistive sensors

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

25 lut 2026

Data dodania obiektu:

26 kwi 2010

Liczba wyświetleń treści obiektu:

307

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://ribes-54.man.poznan.pl/publication/760

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Nazwa wydania Data
Dębski, Tomasz; Barth, Wolfgang; Rangelow, Ivo W.; Domański, Krzysztof; Tomaszewski, Daniel; Grabiec, Piotr, Piezoresistive sensors for atomic force microscopy – numerical simulations by means of virtual wafer fab, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2001, nr 1 25 lut 2026

Obiekty Podobne
Fabrication and properties of the field emission array with self-alignment gate electrode, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2001, nr 1

Jakubowski, Andrzej Grabiec, Piotr Zaborowski, Michał Rangelow, Ivo W. Barth, Wolfgang Dębski, Tomasz Hudek, Peter Biehl, Steffen Studzińska, Krystyna Kostic, Ivan Mitura, Stanisław

2001, nr 1
artykuł
Characterization of SOI fabrication process using gated-diode measurements and TEM studies, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2000, nr 3,4

Jakubowski, Andrzej Tomaszewski, Daniel Łukasiak, Lidia Gibki, Jan Ratajczak, Jacek Kątcki, Jerzy

2000, nr 3,4
artykuł
Adsorption properties of porous silicon, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2001, nr 1

Beck, Romuald B. Grabiec, Piotr Gotszalk, Teodor Rangelow, Ivo W. Domański, Krzysztof Dębski, Tomasz

2001, nr 1
artykuł
A model of partially-depleted SOI MOSFETs in the subthreshold range, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2001, nr 1

Jakubowski, Andrzej Tomaszewski, Daniel Łukasiak, Lidia Domański, Krzysztof

2001, nr 1
artykuł
A versatile tool for extraction of MOSFETs parameters, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Tomaszewski, Daniel Grabiec, Piotr Marczewski, Jacek Domański, Krzysztof Kucharski, Krzysztof Kociubiński, Andrzej

2005, nr 1
artykuł
TSSOI as an efficient tool for diagnostics of SOI technology in Institute of Electron Technology, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Tomaszewski, Daniel Jaroszewicz, Bohdan Grabiec, Piotr Marczewski, Jacek Barański, Mateusz Domański, Krzysztof Kucharski, Krzysztof Kucewicz, Wojciech Grodner, Mirosław Sapor, Maria Kociubiński, Andrzej Niemiec, Halina

2005, nr 1
artykuł
Si-Based Electrodes for Potentiometric Measurements of Aqueous Solutions, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2009, nr 4

Tomaszewski, Daniel Jaroszewicz, Bohdan Grabiec, Piotr Zaborowski, Michał

2009, nr 4
artykuł
Diagnostics of micro- and nanostructure using the scanning probe microscopy, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Grabiec, Piotr Czarnecki, Piotr Janus, Paweł Gotszalk, Teodor Rangelow, Ivo W. Radojewski, Jacek Szeloch, Roman F. Marendziak, Andrzej

2005, nr 1
artykuł
Więcej
×

Cytowanie

Styl cytowania:

Dane kontaktowe

Adres

Instytut Łączności – Państwowy Instytut Badawczy ul. Szachowa 1 04-894 Warszawa

Telefon

(+48) 5128 696

E-Mail

biblioteka@il-pib.pl

Odwiedź nas!

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji