Wyszukiwanie zaawansowane ?

Obiekt

Pobierz

Tytuł: Ellipsometric spectroscopy studies of compaction and decompaction of Si-SiO2 systems, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 3

Autor:

Rzodkiewicz, Witold ; Panas, Andrzej

Data wydania:

2007, nr 3

Typ zasobu:

artykuł

Opis:

The influence of the strain on the optical properties of Si-SiO2 system has been investigated by spectroscopic ellipsometry (SE), interferometry and weighing methods. Subtle changes of densification (compaction degree) in silicon dioxide layers on silicon substrates have been determined by weight technique (relying on measurements of the silicon dioxide layer mass and calculations of the volume). Elastic stress in the oxide layers has been measured by Fizeau fringes image analysis method. A comparison is made between the density of the silicon dioxide (r) and the results of calculations made using r = f = (n) relations (where n is the refractive index) given in the literature.

Wydawca:

Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa

Format:

application/pdf

Identyfikator zasobu:

oai:bc.itl.waw.pl:285

DOI:

10.26636/jtit.2007.3.828

ISSN:

1509-4553

eISSN:

1899-8852

Źródło:

Journal of Telecommunications and Information Technology

Język:

ang

Prawa:

Biblioteka Naukowa Instytutu Łączności

Temat i słowa kluczowe:

spectroscopic ellipsometry Si-SiO2 system refractive index density

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

25 lut 2026

Data dodania obiektu:

27 sty 2010

Liczba wyświetleń treści obiektu:

536

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://ribes-54.man.poznan.pl/publication/328

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Nazwa wydania Data
Rzodkiewicz, Witold; Panas, Andrzej, Ellipsometric spectroscopy studies of compaction and decompaction of Si-SiO2 systems, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 3 25 lut 2026

Obiekty Podobne
Effects of stress annealing on the electrical and the optical properties of MOS devices, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Przewłocki, Henryk M. Rzodkiewicz, Witold Kudła, Andrzej Sawicki, Zbigniew

2005, nr 1
artykuł
Spectroscopic Ellipsometry Analysis of Rapid Thermal Annealing Effecton MBE Grown GaAs1−x −Nx, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2009, nr 1

Chtourou, Radhouane Rihani, Jaouher Sedrine, Nebiha Ben Harmand, Jean-Christophe

2009, nr 1
artykuł
Biometric Systems Based on Palm Vein Patterns, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2015, nr 2

Smorawa, Dorota Kubanek, Mariusz

2015, nr 2
artykuł
Wireless at the “Connected Games”: How the London 2012 Olympic and Paralympic Games Utilized the Latest Wi-Fi Technology, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2013, nr 1

Leonhardt, Peter

2013, nr 1
artykuł
Speech Segmentation Algorithm Based on an Analysis of the Normalized Power Spectral Density, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2010, nr 4

Tsikhanenka, Siarhei Pekar, Dzmitry

2010, nr 4
artykuł
Low Density Parity Check Codes Constructed from Hankel Matrices, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2018, nr 3

Djebbari, Ali Tehami, Mohammed Amine

2018, nr 3
artykuł
Comparison of the barrier height measurements by the Powell method with the ΦMS measurement results, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Przewłocki, Henryk M. Rzodkiewicz, Witold Piskorski, Krzysztof Kudła, Andrzej

2005, nr 1
artykuł
Evaluation of MOSFETs with crystalline high-k gate-dielectrics: device simulation and experimental data, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 2

Schwalke, Udo Zaunert, Florian Endres, Ralf Stefanov, Yordan

2007, nr 2
artykuł
Więcej
×

Cytowanie

Styl cytowania:

Dane kontaktowe

Adres

Instytut Łączności – Państwowy Instytut Badawczy ul. Szachowa 1 04-894 Warszawa

Telefon

(+48) 5128 696

E-Mail

biblioteka@il-pib.pl

Odwiedź nas!

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji